荷兰埃因霍温科技大学开发出超精确形变传感器，可用于提高芯片制造精度
2020-01-30 荷兰
来源：PHYS
领域：信息
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据PHYS网1月30日消息，荷兰埃因霍温科技大学开发出超精确形变传感器，可识别小于单个原子尺寸的形变。该传感器可采集芯片制造过程中产生的轻微形变量，从而使得机床可根据形变量做出补偿动作，进而提高芯片制造精度，使更微小的芯片制造成为可能。
https://phys.org/news/2020-01-super-accurate-sensor-smaller-chips.html
