美国科学家用电子束制作出精细三维结构

2015-11-12  美国 来源:科技日报 领域:先进制造

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据《科技日报》11月12日报道,美国能源部橡树岭国家实验室利用一种新的扫描透射电子显微技术,在复杂的氧化材料中雕刻出三维纳米结构。研究人员用扫描透射电子显微镜发出的电子束做“雕刻刀”,做出的三维结构不仅有精细可控的形状,而且大小只有几纳米。该方法以更高精度做出更小的结构,更主动地控制材料性质,具有非常大的应用前景。

资料来源:http://www.wokeji.com/jbsj/eb/201511/t20151112_1900199.shtml