荷兰ASML公司推出首款用于5纳米制程的多光束检测工具
2020-06-02 荷兰
来源：CNBETA
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据cnBeta网6月2日消息，荷兰ASML公司推出首款用于5纳米制程的多光束检测工具“eScan1000”。为检验晶圆的质量，半导体制造工厂需使用专用设备检测晶圆片的缺陷。eScan1000工具将原有的单光束扫描方式升级为9光束扫描，使得在线检测工具的吞吐量提高了600%，且该工具适用于目前所有5纳米及以上制程的晶圆。目前，ASML公司已将该检测工具交付给特定客户，并将在2020年的晚些时候公布更多具体细节。
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