2020-06-18 韩国 来源：新材料在线 领域：新材料
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据新材料在线6月18日消息，韩国电子特气供应商SK Materials宣布已开始批量生产超高纯度（99.999％）氟化氢气体，实现了本地化生产，进一步降低对日本的依赖。高纯度氟化氢气体可用于半导体制造过程中从硅片上去除异物的过程中，是一种由于工艺改进而需求迅速增长的产品。此外，SK Materials也在研发推动包括光刻胶和硬掩模版在内的半导体原材料本地化生产，将于2021年完成生产设施，目标是从2022年起每年生产50000加仑的光刻胶。目前，SK Materials正在开发用于氟化氩的光刻胶。
