韩国三星宣布发现新型半导体材料非晶氮化硼

2020-07-07  韩国 来源:新材料在线 领域:新材料

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据新材料在线7月7日消息,韩国三星电子6日宣布,三星高级技术学院(SAIT)与蔚山国家科学技术学院(UNIST)、剑桥大学两家高校合作,发现了一种名为非晶态氮化硼(a-BN)的新材料,此项研究可能加速下一代半导体材料的问世。研究人员成功制备了一种3nm厚的无定型氮化硼薄膜,该薄膜在100kHz和1MHz的工作频率下分别展示了1.78和1.16的超低介电性质,极度接近于空气和真空的介电值1,并且表现出了优异机械、高压稳定性。该工作成功证明了无定型氮化硼的低介电特点,有望用于高性能电子设备。

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