中国研究人员首创可测量纳米尺度的新型纳米球探针技术

2020-08-10  中国 来源:科技日报 领域:新材料

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据科技日报8月10日消息,中国浙江大学联合美国IBM沃森研究中心以及东华大学合作开发出一种新型纳米球探针技术,可以精准测量纳米到微米尺度范围的界面,填补了该尺度空缺。研究人员通过聚焦离子刻蚀在普通原子力显微镜探针上雕刻出一个平台,在平台上精准定位后注入高能氦离子束,使得单晶硅隆起,实现了一种稳定可靠的纳米球探针技术制造工艺。球形探针具有高分辨率、高准确性、耐高温的优点,针尖的直径可在100纳米到1微米之间精确调控。该技术有利于促进纳米摩擦学、生物材料的测试和研发,对材料学、摩擦学、生物医学起到很好的推动作用。

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