2021-05-20 中国 来源:环球网 领域:先进制造
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据环球网5月20日消息,上海理工大学光电学院与苏州慧利仪器有限责任公司联合研发的数字化激光干涉仪项目实现技术突破,打破了国外封锁。数字化干涉检测技术是结合光学干涉测量原理与计算机技术、能够实现纳米精度的非接触式测量技术,是超精密光学计量、国家大科学装置及工程、高端工业检测领域最重要的手段之一。研究团队基于模块化设计思路开发了激光干涉仪的核心关键部件和测量软件,形成了多种型号高精密数字化激光干涉仪;接着在满足高精度相对测量基础上提出绝对检测算法和闭环自检技术,使平面面形检测精度提高5倍。目前,该项目取得了多项自主知识产权,部分产品填补国内空白,PV值测量等核心指标及相关技术已达到国际领先水平。
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