2021-12-22 韩国 来源:其他 作者:唐乾琛 领域:信息
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据IT之家网12月21日消息,韩国光刻胶供应商东进世美肯(Dongjin Semichem)表示,已经通过了三星电子的极紫外(EUV)光刻胶可靠性测试。这款光刻胶为双方合作研发,打破了韩国EUV光刻胶完全依赖日本供应商的局面。2019年日本出台出口限制措施后,东进世美肯开始自研EUV光刻胶,利用自有的氟化氩曝光机和比利时微电子研究中心(IMEC)的 EUV 设备,以及三星的EUV测试环境,成功自主研发出光刻胶。分析人士称,这一产品最快有望在2022年上半年向产线批量供应。