据cnBeta网6月10日消息，台积电宣布将投资340亿美元，推动2nm制程工艺的量产，并已经获得了建厂土地的租赁许可。台积电的2nm制程工艺需要高数值孔径极紫外光刻机，而目前荷兰阿斯麦公司已经推出的极紫外光刻机最高只能支持5nm和3nm工艺的量产。2022年第一季度，阿斯麦公司交付3台极紫外光刻机，平均1台售价近2亿欧元，预计未来推出的支持2nm制程工艺的更先进的极紫外光刻机，售价将会更高。

消息来源：