据日经中文网9月6日消息，日本佳能公司推出一款半导体光刻设备运行支持系统，可实时分析光刻设备的状态，以加强对生产状况的感知。该系统能够根据传感器的信息等检测光刻设备的运行状况，并通过计算机屏幕实时显示，在检测到异常状况时，能够及时予以提醒。一旦发生设备停机状况，系统还能够自动恢复。佳能公司称，该系统有望帮助客户将生产效率提升3成以上。过去，佳能也曾为客户提供设备支持服务，而此次是首次提供涵盖多种功能的综合性系统。

消息来源：https://cn.nikkei.com/industry/itelectric-appliance/49784-2022-09-06-11-14-22.html