美国高校研发出新型石墨烯半导体平台,有望替代硅基半导体平台

2022-12-23  美国 来源:其他 作者:唐乾琛 领域:信息

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据PHYS网12月21日消息,美国佐治亚理工学院研究团队研发出一种基于石墨烯的半导体平台,可兼容传统的微电子制造技术,未来有望部分替代硅基半导体平台。该研究团队在碳化硅晶体基板上创造出了一种改良后的外延石墨烯,并在其表面进行电子束光刻,最终制造出了碳化硅芯片。未来,该研究有望应用于基于石墨烯的半导体器件。相关研究成果发表在《自然·通讯》杂志。

消息来源:https://phys.org/news/2022-12-team-graphene-based-nanoelectronics-platform.html