美国高校研发出新型低温生长工艺,可大幅提高集成电路密度

2023-05-06  美国 来源:其他 作者:刘纪铖 领域:信息

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据中国科学院官网5月4日消息,美国麻省理工学院研究团队研发出一种新型低温生长工艺,可大幅提高集成电路密度。该研究团队可通过新研发的低温生长工艺,直接在硅芯片上有效且高效地生长二维(2D)过渡金属二硫化物(TMD)材料层,以实现芯片电路更密集的集成。未来,该研究成果有望应用于集成电路领域。相关研究发表在《自然-纳米技术》(Nature Nanotechnology)杂志上。

消息来源:https://www.cas.cn/kj/202305/t20230504_4885912.shtml