2023-12-30 美国 来源:其他 作者:白路 领域:科技战略
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据federalregister.gov12月27日消息,美国国家标准与技术研究院(NIST)就半导体制造设施现代化改造的计划性环境评估草案进行意向征询。本次NIST发布计划性环境评估草案(PEA)重点是提供财务支持,以对全美现有的现有成熟节点商业设施进行现代化或内部扩展,落实商务部CHIPS激励计划中商业制造设施融资(NOFO),涉及以下方面:用于尖端、当前一代和成熟节点半导体的前端和后端制造的商业设施的建设、扩展或现代化升级; 用于晶圆制造;用于制造半导体和半导体制造设备的材料。PEA将由 NIST 下属的CHIPS 项目计划办公室管理。