2024-03-19 日本 来源:其他 作者:刘纪铖 领域:信息
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据TechXplore网3月15日消息,日本国立材料科学研究所(NIMS)研究团队研发出世界上首款可应用于CMOS集成电路的N型场效应晶体管(MOSFET)。该研究团队使用NIMS专有的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法精确控制高温高压合成(HPHT)单晶金刚石基板晶面上的掺杂浓度,最终形成了高质量的N型金刚石外延层,并基于此研发出新型N型场效应晶体管。经测试,该N型金刚石MOSFET在300℃下场效应电子迁移率约为150厘米平方/伏特·秒(cm² /V·sec)。未来,该研究可应用于集成电路的开发,比如用于制造恶劣环境中使用的电子器件和传感器等。相关研究发表在《先进科学》(Advanced Science)杂志上。
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