2024-05-12 中国 来源:其他 作者:唐乾琛 领域:信息
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据EurekAlert网5月8日消息,上海微系统与信息技术研究所与瑞士洛桑联邦理工学院联合研究团队基于钽酸锂材料开发出低沉本、高效率的光子集成电路。在这项研究中,研究人员采用了一种名为“万能离子刀”的异质集成技术,通过离子注入和晶圆键合方法制备出高质量的硅基钽酸锂单晶薄膜异质晶圆,并开发了一种超低损耗钽酸锂光子器件的微纳加工技术,成功制造出钽酸锂光子芯片。这些钽酸锂光子集成电路展现了较低的双折射性(折射率对光偏振和传播方向的依赖性),允许实现更高密度的电路布局,并确保可以在所有电信频段中工作。相关研究成果发表于《自然》(Nature)期刊。