据美商务部10月10日消息，美商务部当日宣布与爱德华真空公司签署初步条款备忘录 (PMT)，将根据《芯片和科学法案》为其提供高达 1800 万美元的拟议资金。此次投资的干式真空泵对于先进和传统半导体制造必不可少，主要用于安装在晶圆厂下方，通过抽出有毒烟雾和化学物质来维持晶圆加工室的环境。但目前美国内还没有半导体级干式真空泵制造工厂。该项投资计划将有助于确保半导体制造所需重要设备得到可靠国内供应。

消息来源：https://www.commerce.gov/news/press-releases/2024/10/biden-harris-administration-announces-preliminary-terms-edwards-vacuum