据Phys网12月30日消息，中国香港科技大学工程学院研发出全球首个用于光刻机的深紫外micro-LED显示阵列晶元。该高光效晶元实现多项关键性技术突破，如配合无掩模紫外光光刻技术，可有效提升其光输出功率密度准确性、图案显示解析度、萤幕性能、快速曝光能力等，实现了以较低成本和更速效的方法推动半导体晶片生产的技术发展。相关论文发表于《自然·光子》（Nature Photonics）杂志。

消息来源：https://phys.org/news/2024-12-deep-uv-microled-display-chips.html