2025-01-08 美国 来源：其他 作者：刘纪铖 领域：信息
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据cnBeta网1月6日消息，美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室正在研发一种替代传统EUV激光器的拍瓦级（petawatt-class）铥激光器（thulium laser）。该激光器采用掺铥氟化钇锂作为激光增益介质，理论上可高效输出拍瓦级、超短激光脉冲，平均功率达数百千瓦，远超目前同类的激光器。据评估，新型激光器的光源效率比目前EUV工具中使用的二氧化碳激光器高十倍，可更高效、低功耗地生产芯片，有望为新一代EUV光刻系统铺平道路。
