据MIT科技评论3月23日消息，中国科学院空天信息创新研究院和中国科学院大学的研究人员打造出一种紧凑型固态纳秒脉冲激光系统，可在6 kHz的重复频率下生成193 nm的相干光。具体来看，研究人员自主研发出一种 Yb:YAG 晶体放大器，可由此产生258nm和1553nm两种激光，后者可在级联晶体中的频率混合产生193 nm激光，而通过在频率混合之前向1553 nm光束引入螺旋相位板，即可生成轨道角动量光束。该光束对于激发混合氟化氩（ArF，Argon Fluoride）准分子激光器很有价值，并在晶圆加工和缺陷检测中具有潜在应用，有望提高半导体光刻精度。