据俄罗斯卫星通讯社3月24日消息，俄罗斯莫斯科市长谢尔盖·索比亚宁发文称，莫斯科“泽列诺格勒纳米技术中心”公司已完成俄罗斯首台350纳米光刻机的研发工作。索比亚宁在文中指出，俄罗斯的这一设备与外国类似设备非常不同，首次使用了固体激光器而非汞灯作为辐射装置，具备功率更大、能效更高、耐用性更强、光谱更窄等优点。目前，“泽列诺格勒纳米技术中心”公司已做好了批量生产这一新设备的准备。此外，该中心目前正在按第二份国家合同开展130纳米光刻机的研发工作，预计于2026年完成。