土耳其和新加坡的研究团队将纳米级3D打印与先进金属加工技术相结合制作微电子结构,品质因数提高6~7倍

2025-05-15  全球 来源:其他 作者:王浩然 领域:新材料

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据VoxelMatters 5月12日消息,土耳其比尔肯特大学和新加坡南洋理工大学的研究人员将纳米级3D打印与先进金属加工技术相结合,制造分辨率低于10微米的高纵横比射频(RF)器件,显著提高了性能且将尺寸减少了45%。研究人员使用2PP(双聚丙烯)创建复杂的深沟槽,然后通过电镀填充铜,并通过干法蚀刻进行精制。最终完成了超紧凑的射频谐振器,可调频率在4~6GHz,纵横比为1:4,其品质因数相较于传统结构提高了6~7倍。相关研究成果发表于《微系统与纳米工程》(Microsystems & Nanoengineering)期刊。

信息来源:https://www.voxelmatters.com/researchers-3d-print-next-generation-precision-rf-devices/