据cnBeta网8月14日消息，中国浙江大学余杭量子研究院自主研发出国内首台商业电子束光刻机“羲之”。该设备是新一代100kV电子束光刻机，专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节。与传统光刻机相比，电子束光刻机在原型设计、快速迭代和小批量试制方面具有独特优势。“羲之”可通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度可达0.6纳米、线宽仅8纳米，精度比肩国际主流设备，并且无需掩模版，可多次修改设计。此外，“羲之”的定价还低于国际均价，目前已与多家企业及科研机构展开接洽。“羲之”电子束光刻机的成功应用测试，标志着中国高端半导体核心装备国产化的重大突破。