欧盟推动石墨烯旗舰计划,着力关注晶圆研发

2026-01-05  欧盟 来源:其他 领域:新材料

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据先进制造与新材料情报研究1月4日消息,欧盟石墨烯旗舰计划2D Pilot Line(2D-PL)项目启动第四轮多项目晶圆研发,AMO GmbH、VTT等欧洲机构参与其中,支持石墨烯场效应晶体管等器件原型制造,采用Si/SiO2(90 nm)晶圆,标准管芯尺寸1×1 cm2,最小设计规则低至约10 µm,工艺流程涵盖介质沉积、石墨烯转移等关键环节。旨在推动欧盟石墨烯及2D材料产业化,助力下一代半导体技术研发。
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