据先进制造与新材料情报研究1月28日消息，美国劳伦斯·利弗莫尔国家实验室与斯坦福大学的研究团队开发出金属透镜阵列双光子光刻平台，实现厘米级区域并行打印，推动双光子光刻技术从实验室研究迈向晶圆级量产。研究团队采用高数值孔径超透镜的平铺阵列替代显微镜物镜，将飞秒激光分割为12万余个协调焦点，同步在厘米级区域打印。集成空间光调制器实时调节各焦点强度，可开关光束、灰度控制线宽并编排光束逐层形成复杂图案。该方法避免了早期多光束方案的邻近效应，无需拼接即可无缝打印，制备的3D结构最小特征尺寸达113 nm，加工效率较商用系统提升千倍以上。相关研究成果在《Nature》期刊。
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