据科创板日报10月15日消息，马斯克芯片项目Terafab或将于明年年中迎来首台阿斯麦（ASML）Twinscan NXE EUV光刻设备。虽然研究机构SemiAnalysis预测该厂房主体结构要到2027年底才完工，设备可能面临短暂闲置，但在EUV资源极度紧缺的当下，提前锁定设备能确保试产进度。此外，马斯克曾构想使用自由电子激光器（FEL）替代传统激光等离子体光源，但因FEL技术尚未成熟且Terafab计划采用英特尔14A工艺，第一代产品仍将回归并依赖阿斯麦等成熟商业化设备。

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