2017-05-07 美国 来源：国防科技信息网 领域：新材料
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据国防科技信息网5月7日消息，美国能源部布鲁克海文国家实验室功能纳米材料研究中心的科研人员在扫描透射电子显微镜（STEM）的辅助下，利用电子束光刻工艺在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）薄膜上成功实施了特征尺寸约1纳米、间距11纳米的图形化工艺。该工艺所得的图形面密度高达每平方厘米1万亿个。在此研究成果的基础上，未来有望实现原子尺度的材料性能调控。
资料来源：http://www.dsti.net/Information/News/104381
